CIF中試型等離子清洗機CPC-12系列
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CIF推出全新一代CPC系列桌面型、可中試生產、模擬生產條件的等離子體清洗設備,幾乎具備等離子體清洗設備所有的功能。具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價比高,易維護,處理快速高效,特別適合于大學,科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。
更新時間:2024-01-16 13:25:18
產品特點:
PLC工控機控制整個清洗過程,全自動進行。
7寸彩色觸摸屏互動操作界面,實時工作參數狀態直觀顯示。
手動、自動兩種工作模式。
數字流量計控制,控制更準確。
符合人體功能學的60度傾角操作界面設計,操作方便,界面友好。
頂置真空倉,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式。
上置式360度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。
有效處理面積大,可處理8寸硅片去膠等應用。
可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品,進行清洗和改性。
安全保護,倉門打開,自動關閉電源。
技術參數:
型號 | CPC-12 | CPC-12plus |
艙體尺寸 | H120xΦ370mm ? | H120xΦ370mm |
艙體容積 | 12.8L | 12.8L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
射頻功率 | 10-300W可調 | 10-300W可調 |
氣體控制 | 質量流量計(MFC)(標配單路,可選雙路) | |
最大處理尺寸 | Φ370mm圓盤 | |
產品尺寸 | L618xW520xH465mm | |
包裝尺寸 | L750xW640xH570mm | |
時間設定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速約8m3/h | |
氣體穩定時間 | 1分鐘 | |
真空度 | 100pa以內 | |
電 源 | AC220V 50-60Hz?? |